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研磨過程不損壞現有形狀和精度，可以達到較高的平面精度，同時去除工件外表硬化層和外表微觀缺陷，進一步達到鏡面效果。設備加工工件可成批連續加工，具有加工精度一致，產品性能穩定的特點。